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晶能光電 |硅基Micro LED的技術路線與產業(yè)化未來,干貨來襲
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2023.05.18 上海

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前言

晶能光電/郭嘯/研發(fā)經理,受邀出席《2023國際Mini/Micro技術應用大會》,做《硅基Micro LED的技術路線與產業(yè)化未來》主題分享,干貨滿滿,小編為大家一一梳理。

4月20日,由新型顯示產業(yè)聯(lián)盟、芯視顯主辦的'’創(chuàng)新協(xié)行,聚勢共贏'’《2023國際Mini/Micro技術應用大會在深圳光明云谷國際會議中心成功舉辦。400+車載顯示、醫(yī)療顯示、商業(yè)顯示、IT顯示、XR元宇宙顯示上下游產業(yè)鏈領軍企業(yè)齊聚一堂 ,針對現階段焦點話題展開研討。

晶能光電/郭嘯/研發(fā)經理,受邀出席,做硅基Micro LED的技術路線與產業(yè)化未來主題分享,與業(yè)內專家學者共話技術突破與產業(yè)發(fā)展。

01

走進晶能光電·近20年持續(xù)深耕硅襯底技術

晶能光電創(chuàng)立于2006年,是具有底層芯片核心技術的全產業(yè)鏈IDM半導體光電產品提供商,為全球客戶提供高品質的LED(外延、芯片、封裝和模組)光源和感知傳感器件產品和解決方案。
晶能光電是全球硅襯底GaN技術的領導者之一,在全球率先實現了硅襯底GaN技術在LED領域的產業(yè)化,歷經近20年硅襯底LED技術的深耕與沉淀,現已成為全球最大的硅襯底GaN基LED 制造企業(yè)。
02

挑戰(zhàn)與實踐·大尺寸硅襯底Micro LED
經理介紹,與藍寶石襯底相比,硅襯底在Micro LED產業(yè)化中的優(yōu)勢為:大尺寸、低成本、高波長一致性、無損去除、低翹曲、CMOS兼容性。大尺寸硅襯底GaN LED技術已經成為開發(fā)面向AR微顯Micro LED的主流路線。


關于AR,所采用的Micro LED技術仍存在諸多挑戰(zhàn),郭經理做如下總結:1.Micro LED的有效EQE仍有待提升,加上和光波導的耦合效率低,導致功耗偏高;2.生產成本高,生產良率很低;3.像素間亮度一致性差;4.灰度響應/亮度漸變效果差;5.尚無理想的全彩方案。

技術的提升與需求的釋放,帶動硅襯底LED技術迎來新一輪機會增長點,尤其在ADB矩陣車燈、Mini LED RGB直顯、AR微顯示器、車載HUD等新興領域。

03

晶能方案·Micro LED產業(yè)化的特色與優(yōu)勢

1).全色系。晶能光電針對Micro LED,開發(fā)了365nm~650nm全色系8英寸硅襯底LED外延片,在外延參數、光效、一致性、可靠性等關鍵指標上進行了全方位優(yōu)化;

2).大尺寸。8inch RGB InGaN LED EPI,可提供標準厚度8inch CMOS匹配外延。 

大尺寸硅襯底LED(8英寸)具有成本和IC兼容性,在AR、Mini直顯、車載等方向有巨大的應用潛力;

3).高質量。1.采用異質外延的應力積累和釋放模型優(yōu)化生長,創(chuàng)新的利用晶格應力誘導位錯反應,在總外延層厚度5微米條件下,可以穩(wěn)定重復的生長位錯密度~1.5E8/cm2的硅襯底GaN外延層;2.采用薄buffer技術,獲得超過8微米的GaN外延,膜厚均勻性好;

4).高光效。紅光LED是Micro LED技術的重大瓶頸之一,隨著產學研界廣泛的開發(fā)投入,不斷有新的方向和工藝設備升級,晶能光電和業(yè)界同仁一起在外延參數、光效、一致性、可靠性等關鍵指標上進行了全方位優(yōu)化,歷經了長期市場考驗;

5).單芯片動態(tài)調光。晶能光電進行了10微米pixel SAG研發(fā),并且實現點亮。并在單像素上集成RGB三色外延芯片,實現單芯片動態(tài)調光。

04

多元應用·硅襯底的實踐與落地應用

1)Mini RGB直顯。晶能光電Mini RGB直顯芯片4.2mil*4.2mil已經完成開發(fā)并供貨,更小尺寸(4mil*4mil)持續(xù)開發(fā)中;

2)AR陣列技術。晶能光電2022年成功制備了12 um pitch 像素矩陣;并于2023年成功制備了5 um pitch 像素矩陣,后續(xù)將發(fā)布帶驅動的RGB三色陣列。晶能光電優(yōu)先著力Micro LED微顯示研究,應用AR/HMD/HUD/高密度矩陣車燈等方向,硅基GaN與硅基CMOS驅動電路進行晶圓級邦定,去除硅襯底后在CMOS晶圓繼續(xù)GaN芯片工藝。

3)LED矩陣車燈作為過渡方案,外置IC的硅基集成矩陣大燈已經商用。晶能光電推出交互式車用Mini RGB直顯屏,集成矩陣大燈的尺寸只有傳統(tǒng)的SMT矩陣大燈的1/16,可以顯著降低光學系統(tǒng)的體積和成本,緊湊的尺寸使得車燈更小、更輕、能效更高。

05

新型顯示產業(yè)聯(lián)盟,共同推動知識產權與標準體系建設

【晶能光電研發(fā)經理郭嘯共同為新型顯示產業(yè)聯(lián)盟揭幕】

集眾智,匯眾力,晶能光電愿與與產業(yè)同仁一道,解決卡脖子技術痛點,推動知識產權與標準體系建設,為人類健康事業(yè)發(fā)展貢獻自己的一份力量!

06

新型顯示資源對接會


大會同期,讓連接創(chuàng)造價值,由新型顯示產業(yè)聯(lián)盟與芯視顯組織的2023MLED資源精準對接會,順利召開,晶能光電研發(fā)經理郭嘯參與對接,做技術交流。







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