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ESD測試你做了嗎?

芯片實驗室趙工 半導(dǎo)體工程師

用戶做靜電測試前需要確認(rèn),做哪些ESD實驗?提供POD給實驗室確認(rèn)是否有現(xiàn)成夾具,沒有的話要定制夾具。

北軟實驗室ESD夾具

ESD通常有以下幾種模式:

HBM (人體模型)Human Body Model:模擬人體接觸到芯片管腳產(chǎn)生的ESD放電

· 通常測試條件為2000V, 可以采用步進(jìn)式(step)增加電壓直至打死(fail),比如500V,1000V,1500V, 2000V till fail,也可以直接2000V。

· 樣品一般為3顆/組,也可以1顆/組(工程時)

MM (機(jī)器模型)Machine Model:模擬生產(chǎn)加工過程中,生產(chǎn)設(shè)備對芯片產(chǎn)生ESD放電

· 目前僅日本廠商有強(qiáng)制性要求,JEDEC已經(jīng)作廢

· 樣品一般為3顆/組,也可以1顆/組(工程時)

CDM (人體模型)Charged Device Model:模擬芯片運(yùn)輸過程出現(xiàn)內(nèi)部電荷累計條件下的ESD放電

· 通常測試條件為200V,500V, 可以采用步進(jìn)式(step)增加電壓直至打死(fail),比如200V,250V,300V, till fail2000V,也可以直接500V。 

LU(閂鎖測試)Latch-up test:指cmos晶片中, 在電源power VDD和地線GND(VSS)之間由于寄生的PNP和NPN雙極性BJT相互影響而產(chǎn)生的一低阻抗通路, 它的存在會使VDD和GND之間產(chǎn)生大電流

· 通常溫度通常為室溫(25度),也可高溫(85度,125度等),通常測試條件為100mA,1.5 x VCC,也可200mA,1.5 x VCC

· 樣品一般為3顆I-test(電流測試),3顆 Vsupply Overvoltage test(過電壓測試),共計6顆,也可6顆/組,都測。

曲線測試 IV Curve Trace:量IC 管腳的電壓電流(I-V)曲線

EOS測試 電過應(yīng)力測試 Electrical Over Stress :

· 就是用MK2或者M(jìn)K4做過壓測試TLP測試 Transmission Line Pulse 

· 一般設(shè)計公司需要做, 使用TLP脈沖方波評估芯片的ESD性能,可以是Wafer,die或封裝后成品。

· 通常0V打到fail 

ESD-gun 靜電槍測試

· 模擬單板、系統(tǒng)外部接口在帶電插拔等情況下的ESD放電,板級、系統(tǒng)級ESD測試,不針對芯片進(jìn)行

· 通常電壓較高,會打2KV以上,甚至10KV,20KV.EFT Test 電快速脈沖群測試:Electrical Fast Transient

· 板級、系統(tǒng)級ESD測試,不針對芯片進(jìn)行· 通常都會打2KV,4KV

Surge Test 浪涌測試,低壓雷擊測試

· 板級、系統(tǒng)級ESD測試,不針對芯片進(jìn)行,測試電磁干擾能力,檢驗是否能抵抗脈沖和噪聲的干擾· 一般是從Vcc max打到fail, 比如step 0.5V till fail

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