最早創(chuàng)建“縣”制者，是楚國(guó)，消滅了諸侯國(guó)則設(shè)置為縣，例如陳縣（陳國(guó)）、蔡縣（蔡國(guó)）等。建立縣制，逐漸被各國(guó)所采納，尤其是晉國(guó)與秦國(guó)，大力推行縣制。
戰(zhàn)國(guó)時(shí)期，一些諸侯國(guó)版圖日漸增大，直接管轄縣已經(jīng)有些力不從心，也就逐漸把原來(lái)從屬于縣的“郡”，升格為比縣的上一級(jí)單位，例如魏國(guó)設(shè)置上郡管轄15縣，趙國(guó)滅掉代國(guó)設(shè)置代郡，燕國(guó)占據(jù)遼東設(shè)置遼東郡18縣，秦國(guó)滅亡蜀國(guó)設(shè)置蜀郡。
秦滅六國(guó)后，全國(guó)設(shè)置36郡，后來(lái)逐漸增加到48郡。漢承秦制，漢朝設(shè)置的郡逐漸增多，漢武帝時(shí)期竟然有108個(gè)郡（國(guó)），這就導(dǎo)致中央王朝很難統(tǒng)治地方，于是漢武帝在郡的上面設(shè)置了“刺史部”即州，即全國(guó)劃分為13個(gè)“州”。最初州只是監(jiān)察區(qū)，東漢末年州逐漸由監(jiān)察區(qū)變?yōu)樾姓^(qū)，成為郡以上的一級(jí)行政區(qū)劃，形成州、郡、縣三級(jí)制。
魏晉南北朝時(shí)期，“州”的數(shù)量逐漸增加，例如孫權(quán)從交州析出廣州，曹魏從幽州析出平州。西晉建立時(shí)全國(guó)19州，西晉末年則增加到21州。隋朝統(tǒng)一全國(guó)時(shí)，竟然有300多個(gè)州，這時(shí)的州已經(jīng)與此前的郡沒(méi)有什么差別，“州郡”只能取消一個(gè)。
隋文帝廢除戰(zhàn)國(guó)以來(lái)的“郡縣制”與漢武帝以來(lái)的“州郡縣”制度，改為“州縣制度”。隋煬帝又恢復(fù)“郡縣制度”，唐高祖再次采取“州縣制度”。唐朝初年，全國(guó)共有三百幾十個(gè)州，中央王朝管轄三百多個(gè)一級(jí)行政區(qū)，顯然力不從心。
唐太宗在州縣上面設(shè)置了“道”，最初也是監(jiān)察區(qū)，全國(guó)劃范圍10個(gè)“道”。這幾乎是漢武帝在郡縣上面設(shè)置“州”的再版，而且“道”的數(shù)量逐漸增加，到了唐睿宗時(shí)期發(fā)展到23個(gè)“道”。就象州刺史逐漸搖身一變形成了州牧掌握著軍政大權(quán)逐漸淪為軍閥，唐朝各道“巡察使”逐漸發(fā)展為掌握著軍政大權(quán)的“節(jié)度使”，節(jié)度使也逐漸成為擁兵自重的軍閥。節(jié)度使制掌握地方實(shí)權(quán)后，“道”日漸演變?yōu)閷?duì)一個(gè)節(jié)度轄區(qū)的稱(chēng)呼。
唐朝在京師、陪都、道治所在地置府，作用與州相同，但地位高于州，例如京兆府、太原府。唐朝實(shí)行道、州（府）、縣制度。宋朝罷黜“道”，改設(shè)“路”為監(jiān)察區(qū)，這就形成了路、州（府）、縣制度。這其實(shí)是漢朝“州郡縣”制度的延續(xù)，只是改名換姓。宋朝國(guó)都、陪都、皇帝誕生居住巡游過(guò)的地方、地位重要的州，改置為府。府的地位越來(lái)越高于州。
遼朝因循唐朝舊制，仍使用“道”作為一級(jí)行政區(qū)劃。元朝管轄的版圖過(guò)大，也就在各地設(shè)置“行中書(shū)省”，簡(jiǎn)稱(chēng)“行省”或“省”。行省下設(shè)有道，道下有“路”的行政區(qū)劃單位。元朝的地方行政區(qū)劃極為復(fù)雜，省、道、路、府（州）、縣多級(jí)制度。元朝的州分為直隸州與散州，直隸州下轄若干縣，散州等同于縣，如同“地級(jí)市”與“縣級(jí)市”。
明朝行政區(qū)劃上采取元朝的行省制度，下轄府（州）、縣。后來(lái)取消行省改為承宣布政使司，但習(xí)慣上還是成為“省”，明朝出現(xiàn)“兩京十三省”即15個(gè)省級(jí)單位。明朝實(shí)行省、府（州）、縣制度的同時(shí)，還把道改為副省級(jí)單位，例如分守道、分巡道、整飭兵備道等。
清朝沿襲明朝的制度，依舊是省、府（州）、縣制度。
中國(guó)的“兩級(jí)地方制度”總是要向“三級(jí)地方制度”轉(zhuǎn)化，這說(shuō)明“三級(jí)地方制度”才適合中國(guó)這樣地域廣闊的國(guó)度。辛亥革命后，中國(guó)實(shí)行了“省管縣”兩級(jí)制度，后來(lái)還是逐漸走向省、市（州）、縣（市）的三級(jí)制度。當(dāng)然，隨著人口的增加，縣下面又出現(xiàn)鄉(xiāng)鎮(zhèn)。
譚其驤等“聰明人”認(rèn)為中國(guó)應(yīng)該劃分為50個(gè)?。ㄈ缤绹?guó)50個(gè)州），實(shí)行“省管縣”兩級(jí)制度。這些老教授忽視了中國(guó)人口是美國(guó)的5倍，這就要?jiǎng)澐譃?50個(gè)省。問(wèn)題是250個(gè)省，還能有效治理嗎？豈不要在上面增設(shè)一級(jí)行政區(qū)？那樣豈不再次回到“三級(jí)行政制度”？
中國(guó)的“三級(jí)行政制度”是歷史發(fā)展的必然，要知道中國(guó)一個(gè)省等同于歐洲一個(gè)中等以上的國(guó)家，如果省下面不設(shè)兩（三）級(jí)行政區(qū)，如同歐洲中等以上的國(guó)家只設(shè)兩（三）級(jí)行政區(qū)，這如何有效治理？中國(guó)許多鄉(xiāng)鎮(zhèn)，等同于歐洲一些小國(guó)，幾十萬(wàn)人口豈能不設(shè)置一級(jí)行政機(jī)構(gòu)？
中國(guó)行政區(qū)劃，保持省、市、縣（區(qū)）、鄉(xiāng)（鎮(zhèn)）是合適的，只是不應(yīng)該重復(fù)建設(shè)，而分層授權(quán)，例如中央管轄對(duì)外事務(wù)與省際事務(wù)，各省管轄市際事務(wù)，各市管轄市內(nèi)事務(wù)，豈不更好？
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