7月1日,日本政府宣布將韓國(guó)移除對(duì)外貿(mào)易白名單,韓國(guó)進(jìn)口日本公司的三種原材料——光刻膠、氟化聚酰亞胺和氟化氫需要提前90天申請(qǐng),這些材料是生產(chǎn)柔性屏面板、半導(dǎo)體芯片的重要原料,而這兩個(gè)行業(yè)又是韓國(guó)的經(jīng)濟(jì)支柱。
隨后在8月8日,日本批準(zhǔn)了向韓國(guó)出口EUV光刻膠,這種材料用于芯片生產(chǎn),幫助廠商在硅晶上繪制芯片,該材料對(duì)于三星而言至關(guān)重要。
現(xiàn)在,第二種關(guān)鍵材料的貿(mào)易許可也來(lái)了。8月30日,據(jù)外媒報(bào)道,日本已批準(zhǔn)向三星出口氟化氫,氟化氫是蝕刻和清洗晶圓的關(guān)鍵材料,三星能在明年年初用到這種材料。
高純度的電子級(jí)氟化氫是氟精細(xì)化學(xué)品的一種,在半導(dǎo)體制造工藝中主要用于去除膜沉積后粘附在化學(xué)氣相沉積爐內(nèi)的不必要化學(xué)物質(zhì)、等離子刻蝕、光刻膠圖案化之后的蝕刻細(xì)槽或孔等流程。
據(jù)報(bào)道韓國(guó)以及中國(guó)的半導(dǎo)體廠商一直都從日本進(jìn)口即買即用的氟化氫。日本的氟化氫真的就比中國(guó)產(chǎn)的好么?有業(yè)內(nèi)人士評(píng)論,全世界制造佛化氫的工廠都是99.99%純度,用于蝕刻是夠用的,日本產(chǎn)的氟化氫純度更高,能在小數(shù)點(diǎn)后面多幾個(gè)9。另外由于日本目前是氟化氫最大供應(yīng)國(guó),產(chǎn)能高,價(jià)格便宜,而能用到氟化氫的半導(dǎo)體制造企業(yè)數(shù)量并不多,所以習(xí)慣上都是用日本的。
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